Variasi bentuk elektroda terhadap distribusi plasma yang dihasilkan

Abstract

Elektroda memainkan peran penting dalam membangkitkan dan mempertahankan plasma, serta mengendalikan sifat plasma dan meningkatkan kualitas lapisan tipis yang dideposisikan. Penelitian ini bertujuan untuk menganalisis pengaruh bentuk elektroda bagian atas terhadap distribusi plasma yang dihasilkan. Elektroda yang digunakan pada penelitian ini terdiri dari dua buah elektroda(elektroda atas dan bawah) yang dirangkai dengan konfigurasi Capacitive Coupled. Discharges. Tebal elektroda atas adalah 1 cm. Bentuk Elektroda atas yang digunakan pada penelitian ini adalah balok dan silinder. Distribusi plasma yang dihasilkan diamati menggunakan teknik pengambilan gambar biasa. Hasil penelitian menunjukkan bahwa bentuk elektroda mempengaruhi distribusi plasma yang dihasilkan. Elektroda atas berbentuk balok menghasilkan plasma yang cenderung homogen dibandingkan dengan plasma yang dihasilkan oleh elektroda atas berbentuk silinder.