Setiana, M., & 		Santjojo, D.
(2022).
 Perancangan reaktor plasma CVD untuk deposisi lapisan karbon.
<em>Jurnal Teras Fisika: Teori, Modeling, Dan Aplikasi Fisika, 5</em>(1), 267-272.
doi:10.20884/1.jtf.2022.5.1.5502