SETIANA, Mira; 						SANTJOJO, Djoko H.
 Perancangan reaktor plasma CVD untuk deposisi lapisan karbon.
<strong>Jurnal Teras Fisika: Teori, Modeling, dan Aplikasi Fisika</strong>, [S.l.], v. 5, n. 1, p. 267-272, mar. 2022.
ISSN 2615-1219.
Available at: &lt;<a href="http://jos.unsoed.ac.id/index.php/tf/article/view/5502" target="_new">http://jos.unsoed.ac.id/index.php/tf/article/view/5502</a>&gt;. Date accessed: 20 apr. 2024.
doi: <a href="https://doi.org/10.20884/1.jtf.2022.5.1.5502">https://doi.org/10.20884/1.jtf.2022.5.1.5502</a>.